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直擊台積電！自動搬晶圓、AI偵測清潔，護國神山還有哪些創新 ...

其次，是蝕刻設備的電漿全自動清潔及AI影像辨識機器人，由於在每次蝕刻過後機台上會有殘留物，為省下成本廠區多是用手刷洗，不僅速度慢也耗時。經過改良 ...

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