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台積電蝕刻設備
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〈分析〉一文看懂半導體設備景氣、種類及主要大廠 - 鉅亨
以台積電為例,每個節點的投資金額迅速攀升,以16nm 製程來看,1 萬片/ 月的 ... 晶圓製造設備投資中主要有光罩機、蝕刻機、薄膜設備、擴散\ 離子注入 ...
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