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台積電薄膜製程
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https://www.businesstoday.com.tw/article/category/80394/post/201007080017/
一場決定太陽能產業的祕密會議 - 今周刊
台積電 研究的CIGS(銅銦鎵硒) 薄膜電池,在實際量產上遇到了問題;CIGS的製程主要有三大步驟,分別需要濺鍍機、雷射機、硒化爐等設備。
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