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特用電子級氣體台積先進製程關鍵|產業新聞

台大化工系教授藍崇文表示，半導體沉積薄膜製程是作為生成絕緣或導體層及半導體層，晶片設計要讓線路產生、讓電流開或關的關鍵製程。過去這項製程大多採用矽甲烷（SiH4）來 ...

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