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微機電薄膜之材料機械性質研究__臺灣博碩士論文知識加值系統

對於測試元件之微結構製作，部分採用送交國家晶片中心審查，交由台積電代工製作晶片；部份採用微機電面型加工技術於北區微機電中心製作。無論是晶片之後製程或是面型 ...

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