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台積電推綠色製造晶圓傳送盒清洗機台100%回收熱水再利用
【記者蕭文康/台北報導】台積電(2330)致力提升製程能資源使用效率,繼攜手供應商開發晶圓傳送盒清洗機台節水控制系統後,持續以創新技術打造「熱水 ...
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