全球大咖加碼設備，日本半導體設備大廠東京威力科創一年多來股價上漲91%，社長河合利樹神預言：半導體將主宰未來10年發展！

半導體設備清洗廠世禾 (3551-TW) 表示，隨著半導體製程持續往 7 奈米、5 奈米推進，設備洗淨複雜度提升，銷售單價及毛利率可望走揚，加上先進製程需求暢旺、比重攀升，明年營收、獲利將持續成長。

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#先進製程需求強勁
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◎延伸閱讀：【〈世禾展望〉Q4營運續揚 今年營收可望連3季創高】 http://bit.ly/37op0Jh

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【根絕雜質干擾的殺手鐧：無機／無金屬色材】

對大部分半導體來說，電漿 (Plasma) 處理仍是標準製程之一。利用氣體的物理特性或化學沉積，改變材料表面結構、蝕刻、濺鍍或離子佈植 (Ion implantation)，以提高電子元件的可靠度、穩定度及工作壽命。要評估電漿製程是否到位？傳統方法是量測蝕刻深度或接觸角度，不僅作業耗時、且設備十分昂貴或有欠精準；藉由觀察電漿感測片 (Plasma Indicator) 色階變化，可提高生產效率。

它利用功能性的色材自由基 (radicals) 或離子反應，將電漿處理的程度予以視覺化，更便於判讀——顏色會由深轉淺，依序從灰紫、深綠到淺綠，隨著每次電漿強度逐漸變化。感測片有卡式和圓片形兩種，前者可解決二維平面難以用光學方式量測的問題，後者能取代電磁探棒做大面積評估；除了供週期或維運查核之用，特別適合難以量測的場域、3D 立體待測物及異常放電偵測。

無機色材為氣體不易揮發及高熱阻特性 (耐熱可達 200℃) 的優選結合，而將無機色材塗佈於陶瓷基板上，耐熱可達 400℃，對發光二極體 (LED) 或微機電 (MEMS) 製程是一大福音，矽材或藍寶石基板皆適用；另試圖根除金屬成份的無金屬 (Metal Free) 色材，則可望提高矽半導體的電漿清洗淨化度。

延伸閱讀：
《「PLAZMARK」感測片＋無機色材，搞定電漿麻煩事》
http://compotechasia.com/a/____//2017/1018/36975.html
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