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台積電曝光機
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https://books.google.com.tw/books?id=gR1mDwAAQBAJ&pg=PA83&lpg=PA83&dq=%E5%8F%B0%E7%A9%8D%E9%9B%BB%E6%9B%9D%E5%85%89%E6%A9%9F&source=bl&ots=EYLF74fQrR&sig=ACfU3U3PwYj951DYtN8MSsyArIK9h0eEMg&hl=zh-TW&sa=X&ved=2ahUKEwje_qfUyM71AhW_pZUCHQXiAJsQ6AF6BQi3AhAD
新通訊 08月號/2018 第210期 - 第 83 頁 - Google 圖書結果
此外,先進製程所需的曝光機、刻蝕機等設備研發技術難度也提高。 ... 異質整合克服摩爾定律失效 2017年台積電就曾預估摩爾定律發展至2025年會面臨挑戰,因應此趨勢, ...
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