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台積電曝光機
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狂!台積電一個Fab 竟然裝了18 台EUV 光刻機?! - 探路客
2017 年ASML 交付第一台量產型EUV 微影系統給台積電,寫下商用EUV 制程技術的新里程。臺灣EUV 曝光機裝機規模已領先全球,ASML 在南科成立EUV 全球技術 ...
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