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台積電曝光機
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https://www.bnext.com.tw/article/57392/asml-euv-tsmc-how-to-operation
極紫外光EUV微影是什麼?影片直擊台積電拚5奈米的關鍵技術 ...
微影製程即是:用一台微影設備(Lithography),也稱作曝光機,也可以算是一種掃描儀器,將光透過光罩(Mask或Reticle),並利用ASML微影設備的光學 ...
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