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同样的EUV光刻机，为什么只有台积电能实现高量产？独门绝技

面对7nm、5nm等更先进的制程，三星和台积电同样使用了ASML的EUV光刻机，但是 ... 台积电选用无保护膜的EUV光罩以提高透光性，减少EUV微影制程曝光光能 ...

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