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新一轮EUV光刻机争夺战开打 - 36氪

... 光刻机的唯一供应商，ASML在业内受到的关注度越来越高，特别是以台积电 ... EUV光刻机的波长比现有的氟化氩(ArF) 曝光短1/14，这有利于实现半导体 ...

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