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台積電曝光機
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EUV技術是摩爾定律「續命丹」? - 電子工程專輯
該公司預期,晶片製造商一開始會在訴求成本節省的單次曝光EUV製程中 ... Hosseini表示,在接下來幾年,ASML將推出的0.55NA設備將有助於台積電等領先 ...
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