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台積電曝光機
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https://www.businesstoday.com.tw/article/category/80394/post/202201250004
今周刊- 想「超車」台積電? Intel向ASML購買最新半導體設備 ...
南韓經濟日報報導,英特爾訂購EUV曝光設備比台積電3奈米製程的EUV設備更為 ... 機台可使晶圓製造速率每小時將超過200片,是發展先進製程的重要一環。
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