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台積電、台灣半導體靠他神助攻一文認識浸潤式微影之父

清大半導體學院院長林本堅技術底子雄厚，當年他以「水」作為介質，發展浸潤式（Immersion）微影技術，用一滴水改變了全球半導體高階製程發展，不僅奠定台積電與台灣 ...

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