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渦輪分子幫浦的運作方式 - Leybold

藉由對於操作最佳作法的說明圖解及介紹，瞭解渦輪分子幫浦的運作原理. ... 故障時，應始終為渦輪分子幫浦通風，才能防止碳氫化合物從前級真空側反向或散至真空腔室。

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