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越薄越好，3D薄膜製程大挑戰：淺談原子層沈積技術

原子 層沈積(Atomic Layer Deposition, ALD) 是一種可以將材料一層一層成長的薄膜製程技術，一般常見的ALD製程由四個步驟組成，以成長材料AB為例(圖一)，(a)首先將含有A ...

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