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深次微米矽製程技術 - 第 367 頁 - Google 圖書結果

內嵌 DRAM 的整合製程可用原來作金屬接觸孔連線的鎢栓塞( W - plug )同時做成電荷 ... 式夾絕緣層( MIM ) , ( c )全金屬, MIM 理想的內嵌式 DRAM 應具備以下特性: 1.

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