作者kb76628 (angela)
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標題[問題] MIM電容 VS MOM電容
時間Tue Dec 10 23:56:31 2013
各位先進好
想請教各位關於MIM 及MOM電容的問題
目前我只知道MIM在製造過程需多一層額外的mask(較耗成本?)
在類比及RF電路上較常使用
相反的MOM電容常用在數位電路
我的問題是:
Q1:若考慮單位面積下的電容值,MIM 還是 MOM比較大呢?
Q2:若考慮電容matching的問題,是否MOM matching 優於MIM呢?
煩請各位先進指點一下了,非常感謝!!
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◆ From: 49.159.189.245
推 Baneling:Q1:MIM單位容值大很多 12/11 04:31
→ Baneling:Q2:matching的問題 正常來說是容值越大matching會越好 12/11 04:32
推 tung001:Q1 : MIM 換MOM 就是用面積去換少一層Cap Top Metal 12/11 18:27
→ tung001:Q2 : 單位電容的Cap值做大一點 , 加Dummy應該差不多 12/11 18:27
推 rogerham:Q1:高階製程使用多層metal當MOM應該density也不小。 12/11 23:29
→ rogerham:Q2: 鑒於MoM matching model常常會因畫法不同而不同,但 12/11 23:31
→ rogerham:以10bit SAR ADC所用電容來說,量測起來matching似乎差不 12/11 23:31
→ rogerham:多... 12/11 23:32
推 ArgoNautyoyo:我覺得MOM還不錯 12/12 02:48
推 Tim1990:rogerham 癡博快拜 12/13 22:37