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以自動分揀系統提升半導體製程生產力之研究

本研究著重於半導體前段製程(Front End Process)時，利用分揀機(Sorter)預先將可被同時處理的在製品(Wait in Process, WIP)傳送到同一盒晶圓載具之中(Carrier)，使其機 ...

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