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水平爐管個別原理

薄膜沈積機構發生順序：長晶→晶粒成長→晶粒聚結→縫道填補→沈積. 膜成長。 ... 結構會影響其本身的電性，因此退火在半導體製程上的應用，主要在恢復或改善.

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