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半導體雷射退火
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複合材料雷射增材製造技術及應用 - 第 7 頁 - Google 圖書結果
雷射退火 技術是半導體加工的一種工藝,效果比常規熱處理退火好得多。雷射退火後,製件雜質替位率可達98%~99%,可使多晶矽電阻率降低40%~50%,極大提高集成電路的集成度, ...
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