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應用於半導體晶圓之雷射退火之雙迴路控制 - Google Patents

雷射退火 的其中一個形式使用來自一光束之一掃描線影像以加熱晶圓表面至一溫度(退火溫度)並持續足夠長的時間以活化半導體結構(例如源極和汲極區域)中的摻質，但也足夠短以 ...

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