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第一節常用的真空製程- 除氣及乾燥製程

electron）元件，或奈米（nano）元件等多需要鍍膜製程，因為要. 達到符合高科技要求的品質，真空鍍膜幾乎為唯一 ... （ion implantator）將半導體元件製程中所需的雜質.

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