–多晶矽. –氮化矽. ... RTP ... 13. 晶圓裝載,水平式系統. 到排氣端. 製程爐管. 晶舟. 承載架. 製程. 氣體. 晶圓 ... ,LED 製程設備( 合金、退火製程)( For 2~4" Wafer 溫度 ...
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