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氮氣熱退火處理對矽氧化鉿高介電質可靠度之研究 - 逢甲大學

氮氣熱退火處理對矽氧化鉿高介電質可靠度之研究 ... 各種問題，並且提供各項資源讓我們學習半導體元件製程技術。在老 ... 因此，以適合的溫度熱退火使元件得到最佳特性.

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