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快速升溫製程處理(RTP

退火 產品廣泛應用於半導體元件製造，目的是改變材料的電性或物理特性（電導率、 ... 選擇哪種技術取決於許多因素，包含元件在製程中的特定要求，如對特定溫度及其暴露 ...

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