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半導體退火溫度
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一种新的在半导体中掺入杂质的方法 - 北京大学-科技开发部
如须获得足够的载流子(电子、空穴),还须对掺杂样品进行快速退火,退火温度低于离子注入后的退火温度。 应用范围. 可应用于多种半导体材料、半导体器件 ...
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