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2014 日本東京工業大學出國短期學研訪問報告

有原生氧化物的存在，因此，如何製作出良好之氧化物與半導體界面以及得到高 ... 圖六、氧化鑭(La2O3)/氧化矽(SiO2)複合式氧化物之氮化鎵金氧半元件,退火溫度.

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