由矽砂提煉成矽晶棒的最後一關,使用柴氏或稱CZ製程(Czochralski process),操作方法如圖13-5所示。 回目次. 13-1 半導體製程簡介. 二、半導體製程. 矽晶圓製作IC. 課本 ...
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