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半導體製程定義
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In The End, — 半導體製造過程—前段製程與後段製程概要==...
前段製程亦稱為「擴散製程」,由數百道步驟組合而成,占半導體總製程的80%。 近來,又有將前段製程細分為(1)在矽晶圓上做出各種元件的FEOL、(2)在各個 ...
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