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在半导体设备行业，薄膜沉积设备成晶圆制造的核心设备之一

光刻是在掩模中转移几何形状图案的过程，是覆盖在表面的一层薄薄的辐射敏感材料(称为抗辐射剂) ，也是一种半导体晶片。 图5.1简要说明了光刻用于集成 ...

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