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虛實整合系統助攻半導體| 產業綜合 - 聯合報

王慶鈞指出，全球半導體設備需求強勁，關鍵製程設備（鍍膜及蝕刻）占比更高達45%，工研院開發的「先進半導體薄膜設備智慧製程系統」，可大幅提升台灣 ...

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