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半導體缺陷
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半導體晶圓製造過程中三種常見缺陷 - 壹讀
在晶圓表面缺陷中,晶體缺陷也是一種較為常見的缺陷形式。所謂晶圓表面的警惕缺陷,也被稱為滑移線缺陷,這種缺陷的產生往往是由於晶體生長時加熱不 ...
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