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真空元件與封合技術 - 台灣儀器科技研究中心

(permeation)、材料逸氣(outgassing)、材料蒸氣. 壓，以及封合預壓等，正確的密封機構設計，並選. 一典型的真空系統是由許多次系統及元件所組合，常用的次系統包括真空腔體 ...

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