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化合物半导体衬底材料研究报告（1）|国瑞升|CMP抛光液

二、砷化镓（GaAs）-第二代半导体材料 （一）材料种类 根据电阻的不同，砷化镓材料可以分为半导体型和半绝缘型。半绝缘型砷化镓衬底由于电阻率较高、高频性能好，可制作 ...

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