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微製程概論(IC 及TFT/LCD) - 遠東科技大學

➢ 化學氣相沈積原理: 所謂化學氣相沈積(chemical vapor ... 化學氣相沈積(CVD)技術是半導體積體電路製程中運. 用極廣泛的薄膜成長方法，諸如介電質、半導體、導體等薄膜.

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