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半導體製程技術

... 半導體，形成P、N. 接面電晶體。摻入雜質的方法包括擴散法及離子佈植法。離子佈植法因在雜質濃度、縱深分佈. 及純度控制方面遠較擴散法優越，在大型積體電路製作上已被 ...

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