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半導體後段製程
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https://jupiter.math.nycu.edu.tw/~weng/courses/IC_2007/PROJECT_NCTU_MATH/process/c93_t2_final.pdf
半導體製程簡介
IC的製作過程,由矽晶圓開始,經過一連串製程步驟, ... 以及封裝、測試等後段製程方始完成。 近來逐漸成為半導體製程技術主流的銅製程,其製作.
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