Lin 等[3]發現在半導體廠內. 無塵室間測的VOCs 主要是從去光組製成中所逸散,包含二甲基亞碸、硫化甲基,. 異丙醇、二硫化二甲烷,甲苯及丙酮等。Chein 等[7]研究半導體 ...
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