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NMOS器件的N型功函数层及其形成方法及MOSFET结构

本申请提供一种NMOS器件的N型功函数层形成方法，涉及半导体集成电路制造技术，针对NMOS的N型功函数层的PVD工艺，首先形成NMOS的用于形成金属栅极的凹槽， ...

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