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半導體工廠：設備、材料、製程及提升產業復興的處方籤

前段製程 亦稱為「擴散製程」，由數百道步驟組合而成，占半導體總製程的80％。近來，又有將前段製程細分為①在矽晶圓上做出各種元件的FEOL、②在各個元件之間做出 ...

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