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達到元件的微小化目的，這就是微機電系統（MEMS）

MEMS的發展由來，根源於1960年代中期利用半導體製程，製造機械結構於矽晶片上的 ... 其程序是先塗敷一層感光性極強的光阻(photo-resist)，輔以光罩(photo-mask)進行對 ...

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