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半導體光學鍍膜
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https://books.google.com.tw/books?id=dszJEAAAQBAJ&pg=SA1-PA6&lpg=SA1-PA6&dq=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E9%AB%94%E5%85%89%E5%AD%B8%E9%8D%8D%E8%86%9C&source=bl&ots=UEl0rep-2b&sig=ACfU3U1fV-vwsZdIw3clClyvgzk7noXKRA&hl=zh-TW&sa=X&ved=2ahUKEwi24c7EroiBAxX5Y6QEHbooBi0Q6AF6BQjZAhAD
表面與薄膜處理技術(第五版) - 第 1-6 頁 - Google 圖書結果
(五)半導體元件半導體元件可以說是全然依賴表面處理技術的成熟,以竟其功,其中包括導線、電阻、 ... 其中包括半導體、氧化介電層、金屬鍍膜及圖案蝕刻等表面技術。
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