儀科中心在半導體設備鍍膜計畫,率先. 接觸到大口徑的i-Line 鍍膜,其使用波長為365 nm,利用高壓汞燈為光源,所使用之鍍膜. 材料仍然延續可見光波段之高、低折射材料對, ...
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