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半導體光學鍍膜
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臨場監控之薄膜製程系統及其方法- Future Tech Pavilion, ...
本技術以干涉光學之導納軌跡法薄膜結構設計、超高真空鍍膜與監控設備及薄膜材料 ... 需極平整表面鍍膜技術亦可提供國內自製之技術支援能力;對我國半導體下世代半導體 ...
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