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半導體光學鍍膜
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晶圓級可圖形化光濾波薄膜製程技術研發
本計畫創新重點為在原有大面積平板玻璃上製備IR-cut濾波等多層光學鍍膜設計及鍍膜技術,結合微影蝕刻技術,於已有圖形的不平整IC晶圓表面,直接進行 ...
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