SIMS以帶能量之一次離子入射而撞擊樣品表面,激發出二次離子,藉由量測此二次離子之荷質比(M/e)值,即可鑑定其為何種元素,如下圖所示。 SIMS分析優點. •從氫氣到鈾及以上 ...
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