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半導體乾蝕刻技術pdf
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http://ir.ncue.edu.tw/ir/handle/987654321/17471
National Changhua University of Education Institutional ...
本計畫重點便是研究奈米材料和同質大型塊材的能階特性,利用乾蝕刻技術製作具奈米結構之半導體亦或是製作多孔氧化鋁模板再填充半導體材料製備奈米 ...
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