蝕刻. 薄膜. 基板. 基板. 薄膜. 光阻去除. 薄膜. 基板. 正、負光阻微影製程示意圖. 台灣師範大學機電科技學系. C. R. Yang, NTNU MT. -10-. 光罩的設計技巧.
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